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本发明公开了一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备,属于检测设备技术领域,主要包括导向框板,在导向框板的内部转动连接有双向联动螺杆,双向联动螺杆的外壁且靠近其底端位置处螺纹连接有螺纹套接支块,且螺纹套接支块的外壁一侧安装有联动翻转机构;联动翻转机构包括安装在螺纹套接支块外壁一侧的圆环块。本发明采用联动翻转机构使双向联动螺杆带动螺纹套接支块在螺纹的作用下上移,凹形联动架带动两个联动齿条移动,联动齿条带动联动旋转齿轮啮合旋转,联动转杆带动L形联动夹板使高可靠碳化硅MOS器件能够旋转,多个高可靠碳化硅
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117420144A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311744137.3
(22)申请日2023.12.19
(71)申请人广东仁懋电子有限公司
地址51
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