集成电路工程基础(3).pptVIP

集成电路设计

2第二章集成电路工艺基础(三)平面工艺基础集成电路制造工艺基本流程集成电路中的元件集成电路版图设计

内容集成电路版图设计版图设计规则几何设计规则电学设计规则版图设计及版图验证版图布局版图布线版图验证3

42.4集成电路版图设计基础集成电路版图(Layout)是集成电路设计者在一定工艺条件下，依据相关的设计规则，按照电路功能和性能要求，将设计并模拟优化后的电路中每个器件转化成的一系列多层次几何图形，包含了集成电路图形结构、尺寸大小、各层拓扑定义、器件位置等及器件之间连线等物理信息。版图是一组相互套合的几何图形，几何图形的尺寸直接决定芯片上各个物理层的尺寸。各层版图相应于不同的工艺步骤，每一层版图用不同的图案来表示。版图与所采用的制备工艺紧密相关。版图数据是制作光刻用掩膜版的依据。版图是集成电路从设计走向制造的桥梁

5版图设计版图设计是制造IC的基本条件，版图设计是否合理对成品率、电路性能、可靠性影响很大。版图设计错了，就一个电路也做不出来。若设计不合理，则电路性能和成品率将受到很大影响。版图设计必须与线路设计、工艺设计、工艺水平适应。作为一位版图设计者，首先要熟悉工艺条件和器件物理，才能确定晶体管的具体尺寸。铝连线的宽度、间距、各次掩膜套刻精度等。其次要对电路的工作原理有一定的了解，这样才能在版图设计中注意避免某些分布参量和寄生效应对电路产生的影响。同