MEMS微传感器的工作原理(第1部分).pptVIP

第4章微传感器的工作原理

〔第1局部〕;微传感器的概念

微传感器的分类

根本敏感原理介绍

微传感器的实例

微执行器的分类

根本致动方式介绍

微执行器的实例

微传感器的应用

光MEMS;微传感器的概念;微传感器是今天最广泛使用的MEMS器件，通常使用集成电路工业中开展起来的手段和技术来制造，比方微金属版印制技术、刻蚀技术等，也采用专门为微传感器制造开发的新技术。;微传感器的概念;微传感器的概念;线性度;〔3〕可使仪表刻度盘均匀刻度，因而制作、安装、调试容易，提高测量精度；

〔4〕防止了非线性补偿环节。

实际上许多传感器的输出—输入特性是非线性的，如果不考虑迟滞和蠕变效应，一般用多项式表示输出—输入特性。;附例：;按传感机理分

压阻、压电、隧道、电容、谐振、热对流

按物理参数分

力〔加速度/压力/声〕

热〔热电偶/热阻〕

光〔光电类〕

电磁〔磁强计〕

化学和生物医学〔血糖/电容化学/化学机械〕;(1)压阻敏感原理;;

1〕金属电阻的改变主要由材料几何尺寸的变化引起，因此起主要作用；

2)半导体电阻的改变主要由材料受力后电阻率的变化引起，因此起主要作用；

3)半导体的灵敏度因子比金属的高得多，一般在70-170之间。;在正交坐标系中，沿任一晶向