GB/T 42721-2023电子特气　一氧化氮.pdf

ICS71.100.20

CCSG86GB

中华人民共和国国家标准

GB/T42721-2023

电子特气一氧化氮

Electronicspecialtygas-Nitricoxide

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局4非

国家标准化管理委员会也叩

GB/T42721-2023

目。昌

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第i部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会CSAC/TC203）提出并归口。

本文件起草单位：大连科利德光电子材料有限公司、吴华气体有限公司、湖州市南淘区侣通标准化

研究院、中船（嘟嘟）派瑞恃种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限

公司、证西华特电子化学品有限公司、华rJil!J检测认证集团股份有限公司、绿菱电子材料（天津〉有限公司、

北京高麦克仪器科技有限公司、二峡大学、湖北和远气体股份有限公司、湖北京瑞气体有限公司、兰州裕

隆气体股份有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、吴华气体有限公司西南分公司、中臭光明化工

研究设计院有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有

限公司、上海市计量测试技术研究院、中国计量科学研究院、杭州新世纪棍合气体有限公司、宿州伊维特

新材料有限公司、联雄投资（上海〉有限公司、杭氧集团股份有限公司、街州杭氧特种气体有限公司、上海

凡伟仪器设备有限公司、浙江也芯半导｛本有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、空气化工产品（中国）

投资有限公司、浙江炬和科技有限公司、绍兴科艺标准技术咨询有限公司、沈阳中复科金压力容器有限

公司、浙汪西亚特电子材料有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广

踹达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司。

本文件主要起草人：施睛脆、付梦月、陈辉、刘颖、焦培缩、郭琼、张天泽、李翔字、袁瑞玲、邵治平、

傅铸红、陈艳珊j、金向华、孙楠、廖恒易、茹高艺、曹雪枫、汤萍、牛艳东、李长健、马彬滇、杜大艳、曹小林、

方强、袁有录、王小波、尹爱华、常侠、边鲁宁、阳辉、汪正宏、陈洁、吴舰、方华、王昭彬、于庆伟、高艳秋、

郝萍、王德发、张体强、张金波、杨金山、秦远望、何波、杨康、黄辉、韩一松、毛玲玲、吴慧明、兰锋、尚柏羊、

耿朝l曦、王品、李｛膏、董硕、顾大正、宫兵、王大为、杨和j、钱叶姐、吴乾康、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、

赵刚、赖晓峰、周JU国云。

GB/T42721-2023

电子特气一氧化氮

1范围

本文件规定了一氧化氮的技术要求、来样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息

的要求。

本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于

本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶

GB/T5832.3气体中做量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

GB/T7