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本发明公开了基于物理气相沉积的含二硼化钛涂层的制备方法及其装置，包括外壳，设置在外壳内部的涂层腔室、真空气氛构件，以及设置在涂层腔室内部的磁控溅射构件，所述涂层腔室的内部垂直设置有转轴，所述转轴的底部连接有用于安装基材的基座，所述外壳的一侧设置有外驱动机构，所述外驱动机构和转轴之间设置有静密封传动机构；所述静密封传动机构包括贯穿外壳的传动轴。本发明通过将波纹密封套的两端分别连接在传动轴和限位套上，并通过粘合剂密封，此时可以将传动轴和限位套之间的动密封，转化为波纹密封套和传动轴以及波纹密封套和限位
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117431506A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311765239.3
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人湖南骏航材料科技股份有限公司
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