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本申请公开一种清洁装置。所公开的清洁装置包括箱体(10)、冷凝部(20)、加热器(30)和承载座(40)，箱体(10)具有容置空间(13)，冷凝部(20)和承载座(40)均位于容置空间(13)中，且冷凝部(20)位于承载座(40)的上方；承载座(40)用于承载待清洁物(50)；加热器(30)用于加热被放置于承载座(40)上的待清洁物(50)，以使待清洁物(50)的表面的沉积物升华后凝结在冷凝部(20)上。本申请还公开一种清洁腔室、清洁腔室的控制方法及半导体工艺设备。上述方案能解决相关技术通过人工
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117431522A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311405984.7
(22)申请日2023.10.26
(71)申请人北京北方华创微电
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