一种芯片的键合装置及键合方法.pdfVIP

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2024-01-24 发布于四川
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一种芯片的键合装置及键合方法.pdf

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本申请提供一种芯片的键合装置及键合方法，该键合装置包括，可移动取物台被配置为移动第一元件；承载平台被配置为承载并移动第二元件；校正组件被配置为提供校正标识，校正组件与第一元件或第二元件保持固定距离；图像采集装置被配置为读取第一元件和校正组件的标识，以确定对应的第一相对位置关系；第二图像采集装置被配置为读取第二元件和校正组件的标识，以确定对应的第二相对位置关系，键合装置基于第一相对位置关系和第二相对位置关系确定对准差值，进而驱动可移动取物台和/或承载平台进行调整，使第一元件和第二元件对准并进行键合

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117438362A

(43)申请公布日2024.01.23

(21)申请号202311685313.0

(22)申请日2023.12.07

(71)申请人武汉新芯集成电路制造有限公司

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