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本发明公开提供用于人脑深部的细胞分辨率钨基微电极阵列及制造方法，涉及临床神经电极领域，用于对人脑深部脑区神经元的电生理信号检测和记录，包括：钨基微电极阵列尖端、接地位点、电生理信号检测位点、引线、焊盘位点、钨基微电极阵列基底。在制造过程中，使用生物相容性高且硬度优越的长条型钨棒作为基材，通过MEMS工艺在钨棒的四面加工出接地位点、电生理信号检测位点、引线以及焊盘位点。由于阵列中的电生理位点分辨率极高，能够捕捉单个神经元的放电活动。在信号检测过程中，本发明可以确定信号源相对于钨棒电极的具体方向，从
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117426775A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311476173.6
(22)申请日2023.11.08
(71)申请人中国科学院空天信
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