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2024-01-24 发布于四川
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一种对称式双光栅结构的光学加速度计敏感单元.pdf

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本发明公开了一种对称式双光栅结构的光学加速度计敏感单元，包括：壳体，底部和顶部为玻璃基底；惯性质量块，两侧分别与两个弹性悬臂梁连接，下上端设有第一、第二反射面；两个弹性悬臂梁的另一端分别与壳体两侧连接；第一、第二光栅，分别安装在壳体底部和顶部的玻璃基底上，分别与第一、第二反射面正对；第一、第二光源，第一光源设置在壳体底部外侧，第二光源设置在壳体顶部外侧；第一、第二探测模块，分别设置在壳体底部和顶部外侧，用于检测第一、第二衍射干涉场的光强信号；信号处理模块，用于根据光强信号获取惯性质量块位移量和输

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117434298A

(43)申请公布日2024.01.23

(21)申请号202311234587.8

(22)申请日2023.09.22

(71)申请人中国人民解放军军事科学院国防科

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