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一种基于二氧化钒的动态热辐射可重构器件及其制备方法.pdfVIP

一种基于二氧化钒的动态热辐射可重构器件及其制备方法.pdf

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    一种基于二氧化钒的动态热辐射可重构器件及其制备方法，它属于红外辐射动态调控领域。本发明要解决现有正、负微分红外辐射调制特性无法在同一VO2谐振结构上集成的问题。动态热辐射可重构器件，它自下而上依次由基底、金属层、介质层及VO2层组成；VO2层是由多个不同厚度的图案化VO2单元组成。制备方法：一、模板制备；二、金属层制备；三、介质层制备；四、相变层制备；五、后退火处理。本发明用于基于二氧化钒的动态热辐射可重构器件及其制备。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117434776A

    (43)申请公布日2024.01.23

    (21)申请号202311682270.0

    (22)申请日2023.12.08

    (71)申请人哈尔滨工业大学

    地址15000

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