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一种基于COMSOL制备氮化铝晶体时坩埚内蒸气分压的模拟方法.pdfVIP

一种基于COMSOL制备氮化铝晶体时坩埚内蒸气分压的模拟方法.pdf

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    本发明涉及一种基于COMSOL制备氮化铝晶体时坩埚内蒸气分压的模拟方法，该方法包括S1：在COMSOL的模型向导模块中选取物理场和空间维度；S2：采用软件中的几何模块建立氮化铝晶体生长炉的二维轴对称模型；S3：对几何模型的不同域进行划分，设置材料参数；S4：对几何模型进行网格划分；S5：计算求解；S6：根据数值模型，对计算结果进行后处理，得到坩埚内蒸气分压仿真结果。本发明通过对物理气相传输法制备氮化铝过程中的温度场进行仿真，进而根据数值模型得到坩埚内部铝蒸气分压和氮气分压的大小、分布和传输方向，

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117436245A

    (43)申请公布日2024.01.23

    (21)申请号202311319459.3

    (22)申请日2023.10.12

    (71)申请人齐鲁工业大学（山东省科学院）

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