制造肖特基二极管的方法以及对应的集成电路.pdfVIP

制造肖特基二极管的方法以及对应的集成电路.pdf

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本公开涉及制造肖特基二极管的方法以及对应的集成电路。半导体器件包括衬底上的肖特基二极管。肖特基二极管包括多晶硅层,该多晶硅层被设置在衬底内的电介质层上,电介质层被配置为将多晶硅层与衬底电绝缘。多晶硅层包括与未掺杂的第二阳极区域相邻的N型掺杂的第一阴极区域。第一金属接触部被设置在N型掺杂的第一阴极区域的表面上,并且第二金属接触部被设置在未掺杂的第二阳极区域的表面上。第一金属接触部和第二金属接触部通过多晶硅层上的绝缘层彼此被电绝缘。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117438423A

(43)申请公布日2024.01.23

(21)申请号202310898609.4

(22)申请日2023.07.21

(30)优先权数据

22074852022.07

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