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2024-01-24 发布于四川
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本实用新型涉及硅片承载工具技术领域，提供一种纵向齿和硅片承载器。本实用新型的纵向齿包括连接组件和纵向齿本体；连接组件与硅片承载器的立面连接；纵向齿本体的端部与连接组件连接，纵向齿本体具有支撑面，支撑面上限定有用于放置硅片的第一水平放置面，第一水平放置面所处的水平面的高度至少不小于支撑面的最高点所处的水平面的高度。在本实用新型中，通过在纵向齿本体的支撑面上限定出用于放置硅片的第一水平放置面，且使第一水平放置面所处的水平面的高度至少不小于支撑面的最高点所处的水平面的高度，使硅片放置于第一水平放置面上

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220382060U

(45)授权公告日2024.01.23

(21)申请号202322023830.3

(22)申请日2023.07.28

(73)专利权人北京市塑料研究所有限公司

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