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本实用新型提供的一种真空吸附装置，包括外部包裹层、吸附块、真空吸附电机以及空腔；所述外部包裹层的底部开设有一凹槽，所述外部包裹层的顶部开设至少一个抽气通孔，所述吸附块的表面上设置有多个贯穿的吸附通孔，所述吸附块叠合在所述凹槽上并组成所述空腔，所述真空吸附电机连接固定在所述外部包裹层顶部的抽气通孔上；采用亚克力材料制备所述外部包裹层及吸附块，利用亚克力材料良好的耐光、耐化学品、耐热性能、表面光滑、透明度高等优点，降低治具加工成本，提高了晶圆清洗的安全性以及清洗效果。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220382073U
(45)授权公告日2024.01.23
(21)申请号202322040532.5
(22)申请日2023.08.01
(73)专利权人深圳黑晶光电技术有限公司
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