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本发明公开了一种基于双模型表征的非球面参数拟合及面形偏差测量方法，包括1)采集非球面光学元件表面的若干点，处理获得各个采样点的三维数据；2)建立初始光路模型并设置其波前评价函数；3)依次输入非球面元件的设计参数；4)由测得的XOY平面的坐标数据拟合得到其中心点坐标，转换到与光学设计软件共轴的坐标系下，进行Zernike拟合获得Zernike系数；5)在非球面光路模型中使用步骤4中的Zernike系数表征待测非球面，在同一光学设计软件用两种表征方式构建非球面；6)将曲率半径设为变量，其余非球面参数
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117433420A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311554469.5G06F30/10(2020.01)
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