带有转化的衬里的自对准硬掩模.pdfVIP

带有转化的衬里的自对准硬掩模.pdf

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在一个实施例中，沟槽可以形成于介电表面中，并且，沟槽可以用衬里加衬。沟槽可以用金属填充，并且，该金属可以在沟槽的开口的下方凹陷。衬里可以被转化成电介质，并且，硬掩模可以被沉积到沟槽中。

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN110024106A

(43)申请公布日

2019.07.16

(21)申请号20168

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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