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    本申请提供一种石墨舟，包括多个石墨片、垫块、舟脚和连接件，各个石墨片平行设置，连接件将各个石墨片相连，垫块与连接件相连，用于间隔各个石墨片，舟脚与靠近石墨舟底部的垫块相连，用于支撑石墨舟；舟脚和至少部分垫块设有沿平行石墨片长度的方向贯穿的通风孔。本申请在舟脚和至少部分垫块设置了通风孔，工艺气体可穿过通风孔，从而提高舟脚和垫块附件的工艺气体浓度，提高了工艺气体分布的均匀性，进而提高了晶片表面镀膜的均匀性。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220393901U

    (45)授权公告日2024.01.26

    (21)申请号202321678766.6

    (22)申请日2023.06.29

    (73)专利权人天合光能股份有

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