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基于二维振镜-特殊抛物面镜的光束扫描装置及成像系统.pdfVIP

基于二维振镜-特殊抛物面镜的光束扫描装置及成像系统.pdf

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    基于二维振镜‑特殊抛物面镜的光束扫描装置及成像系统，该光束扫描装置包括激光器、以及沿激光器光路顺次设置的二维振镜、特殊抛物面镜和样品，所述二维振镜由x振镜和y振镜构成；激光器发出的激光束进入二维振镜，二维振镜对光束的偏转角度进行调制；从二维振镜反射出的初始位置光束进入特殊抛物面镜，特殊抛物面镜反射后打到样品上形成采样点。本发明设计了一种特殊的抛物面镜结构，使抛物面镜分别在x方向和y方向有不同的表达方程，保证了振镜转动时探测光聚焦于同一平面。本发明既充分利用了振镜高速扫描的优势，又解决了扫描图像产

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117452628A

    (43)申请公布日2024.01.26

    (21)申请号202311412109.1

    (22)申请日2023.10.27

    (71)申请人之江实验室

    地址311121

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