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本实用新型提供一种基于MEMS技术的地波微振动传感器模块，涉及地波微振动仪技术领域，包括主传感器基座和副传感器基座，主传感器基座圆周表面开设有收缩槽，收缩槽内部设有限位弹簧，限位弹簧端部设有连接支臂，连接支臂端部设有U型轴，U型轴座表面活动轴接设有定位支臂，定位支臂侧面端部设有接口基座，副传感器基座侧面设有连接接口，连接接口与接口基座电性连接，主传感器基座侧面设置回收槽，折叠支臂展开后可对副传感器基座进行放置，并通过定位支臂和接口基座与副传感器基座进行连接，实现多个副传感器基座和主传感器基座的拼
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220399654U
(45)授权公告日2024.01.26
(21)申请号202321778643.X
(22)申请日2023.07.06
(73)专利权人武汉安保通科技
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