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本发明提供一种碲化镉薄膜太阳能电池、制备方法及活化处理设备。制备方法包括步骤:提供衬底层,于衬底层上沉积窗口层;于窗口层上沉积光吸收层;对窗口层和光吸收层进行活化处理,包括于光吸收层上高压喷涂氯化镁溶液,然后在预设温度下进行预定时长的退火;活化处理后,进行湿法铜扩散处理;于光吸收层上沉积背电极层。本发明利用氯化镁溶液引入氯并经退火活化,可以进一步改善电池性能,从而有助于增加短路电流密度,提高电池的性能。本发明的制备方法工艺和操作简单,容易控制,制备过程环保无害,有助于提高制备良率和降低制备成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN113571599A
(43)申请公布日2021.10.29
(21)申请号202110638475.3
(22)申请日2021.06.08
(71)申请人中国建材国际工程集团有限公司
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