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本发明公开了一种硅MEMS陀螺仪多回路数字化闭环控制装置，包括前端的硅微陀螺仪检测模块、中端的模拟接口模块和后端的FPGA模块，前端和后端通过中端相连，形成三个闭环控制回路。前端由检测机构、一对检测输出电极、力反馈机构、一对力反馈电极、正交校正机构、正交校正电极、频率调谐机构以及频率调谐电极组成；中端由C/V转换器、仪表放大器、模/数转换器以及四组数/模转换器组成；后端由输入子模块和两个解调子模块组成。本发明能够实现硅微陀螺仪实时在线模态自动匹配，同时配合实现闭环检测和正交误差校正；使用FPGA
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110160514A
(43)申请公布日
2019.08.23
(21)申请号20191
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