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本发明提供一种用于调节水导激光加工设备水射流垂直度的校准系统与校准方法，该校准系统包括：激光发生器、分光镜、光水耦合加工头、多向调节平衡机构、光学传感器及控制系统，多向调节平衡机构通过多个正交的的调节部与光水耦合加工头连接；光学传感器用以感应光水耦合加工头耦合的反射光束的聚焦点；控制系统控制光水耦合加工头运动到预设的第一位置及从第一位置抬升预定高度后的第二位置，基于第一、第二位置的聚焦点以及聚焦点之间的偏差，控制调整多向调节平衡机构的运动来平衡光水耦合加工头，使光水耦合加工头投射到光学传感器的聚
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117444383A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311712339.X
(22)申请日2023.12.13
(71)申请人苏州中科煜宸激光智能科技有限公
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