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本申请公开了一种精确控温半导体晶圆退火炉，包括炉体以及与炉体铰接的炉门，所述炉体内安装有石英腔室、加热单元、晶圆载台和供气单元，所述炉门处安装有温度检测装置。本申请的退火炉，具有高温计，高温计可以在晶圆退火过程中检测炉体内部的温度，每个加热灯能够单独调节，从而可以对内部加热温度均匀性实现更好的控制，温度检测装置采用热电偶的方式测温，温度检测更加准确，既可以校准加热灯，对加热灯进行调节，也可以用于校准高温计，温度检测装置具有两种工作状态，第一状态可以作为辅助温控，第二状态为通过多个温度传感器有效的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117448968A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311421128.0
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人扬州韩思半导体科技有限公司
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