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2024-01-27 发布于四川
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一种基板表面离子辐射通量分布修正系统及修正方法.pdf

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本申请公开了一种基板表面离子辐射通量分布修正系统及修正方法，修正系统包括沿第一轴线匀速转动在真空室内的基板，基板上附着薄膜，和能发射离子束辐照薄膜以去除其上缺陷层的离子源，薄膜靠近离子源的位置去除量大于远离离子源的位置，为使基板上薄膜任一位置去除量均相同，设计了挡板，在基板旋转过程中遮挡去除量大的位置，使离子束间歇性辐照基板；任取基板上至少三点，由去除速率及与远离离子源位置的距离d求出各点所需的遮挡长度Lc，将各Lc和d转化为平面线段，使各d共线且一端重合，另一端分别连接各Lc中点并使各Lc平行

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117448747A

(43)申请公布日2024.01.26

(21)申请号202311423473.8

(22)申请日2023.10.30

(71)申请人天津津航技术物理研究所

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