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本申请涉及检测技术领域，具体涉及一种照明光路结构和检测系统，照明光路结构包括光源、第一光学组件、滤光组件和减光组件，光源提供初始光束，第一光学组件接收初始光束并产生非预设特性的第一光束；滤光组件用于对第一光束的波段进行选择性调节以出射预设波段的第二光束，减光组件用于对第二光束的光强进行调整以出射预设光强的照明光束；这样初始光束依次通过梳理、波段调节和光强调节，实现对初始光束的调制整合，满足多种不同需求的照明条件，使晶圆表面的缺陷清晰易见，方便后续对晶圆表面缺陷的判定，有助于提高检测系统的检测准确
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220397324U
(45)授权公告日2024.01.26
(21)申请号202321776054.8F21V9/40(2018.01)
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