原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明揭示了硅片湿制程水箱自动回流循环淋水装置，包括安装于AGV自动移载装置上的水箱、设置于水箱内用于限位硅片提篮的至少一定位座、设置于水箱底部且贯通其内部的循环水管、以及设置于水箱的上部且位于对应的硅片提篮的上方并对其内部喷淋的喷头；所述循环水管导向水箱内的水并循环至喷头。本发明实现了AGV自动移载装置搬运硅片的过程中自动循环水箱内水，对硅片进行喷淋处理，硅片始终保持潮湿，提高整体搬运良率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117457540A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311586815.8
(22)申请日2023.11.27
(71)申请人友上智能科技（苏州）有限公司
地址
文档评论（0）