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本发明涉及质谱仪检测环境技术领域，尤其是一种用于大气压接口质谱仪的真空系统，由差级真空腔体、质谱接口、前级真空泵、真空规、气体流量调节阀和控制模块构成。本发明的一种用于大气压接口质谱仪的真空系统中控制电路、真空规、气体流量调节阀和第一级真空规腔体共同构成一个闭环控制系统，通过控制模块实时读取真空规的测量值，并与其设定的目标气压进行比较，基于比较误差对气体流量调节阀的开度进行实时控制，提升控制精度，保持维持第一级真空腔压力稳定；即使质谱接口前端的气流扰动、质谱接口的流阻变化和前级真空泵的抽速波动这
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117457473A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311589902.9
(22)申请日2023.11.27
(71)申请人苏州聚阳环保科技股份有限公司
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