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本发明提供一种便于designgauge量测的标记图形，包括：第一图形、第二图形及辅助图形，第一图形包括第一水平子图形、第二竖直子图形、第三水平子图形及第四竖直子图形；第二图形包括第一图形区域及第二图形区域，第一图形区域处于第一水平子图形与第二竖直子图形连接处拐角的内侧，第二图形区域处于第三水平子图形及第四竖直子图形连接处拐角的内侧；辅助图形包括第一辅助图形及第二辅助图形，第一辅助图形包括第一辅助标记图形，设于第一辅助图形的中心点的左右两侧及上下两侧，第二辅助图形包括第二辅助标记图形，设于第二
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117457629A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311412467.2
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人上海华力集成电路制造有限公司
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