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本发明公开了一种晶圆升降系统，包括：静电卡盘、磁性顶针和磁力升降机构，其中，静电卡盘上开设多个盲孔，磁性顶针放置于盲孔内，磁力升降结构用于在所述盲孔内产生可变磁场以控制所述磁性顶针沿所述盲孔的轴向上升或下降。本发明通过采用磁力升降结构对磁性顶针进行升降，由于静电卡盘开设的是盲孔而非通孔，因此，有效减少了静电卡盘的镂空结构，进而有效减少了密封圈等密封结构的使用，减少了真空泄漏的风险及颗粒物进入真空腔的可能性，有利于提高产品良率及产品品质。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117457570A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311414181.8
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人上海华力集成电路制造有限公司
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