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本发明提供一种工艺腔体辅助安装装置，包括可移动的装置架，装置架设置有升降装置、调平装置和到位检测架，升降装置的升降端连接有工艺腔体升降台，到位检测架的两端分别设置有到位传感器。工艺腔体升降台的一侧连接有传感器安装座，传感器安装座的两侧分别安装有位移传感器。本发明设置了升降装置、调平装置以及到位检测架，对双工艺腔体进行到位检测、升降调节以及水平调节，单人就可完成整个双工艺腔体的调平与安装，提高了安装精度，节省了安装时间以及人工成本，降低了人员受伤风险。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117446692A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311556679.8
(22)申请日2023.11.21
(71)申请人盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
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