原创力文档- 14
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- 2024-01-27 发布于四川
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本公开提供一种基于单频干涉原理的增敏位移测量系统及测量方法，所述系统包括所述系统包括：激光干涉仪，用于发射初始激光光束；第一平面反射镜、第二平面反射镜，利用被测量光路在第一平面反射镜和第二平面反射镜之间的多次反射，以放大位移输入，增加测量系统的灵敏度；所述激光干涉仪具备解析传感器，以接收经过多次反射后的测量光与参考光合成后的干涉光。本公开通过被测量光路在所述第一平面反射镜和第二平面反射镜之间的多次反射，以放大位移输入，增加所述测量系统的灵敏度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117450930A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311384863.9
(22)申请日2023.10.24
(71)申请人西安交通大学
地址710049
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