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本申请公开了一种光学参考腔的加工装置和加工方法，加工装置包括装卡光学参考腔的安装部，其安装在转盘上，并能够通过调节机构调节水平度，加工装置还包括能够检测入射光与被光学参考腔反射的反射光是否重合的检测机构，入射光平行于光学参考腔的中心光路孔设置，其照射在抛光面上被反射，若反射光和入射光不重合，则将装卡光学参考腔的安装部安装在转盘上通过调节机构调节水平度，从而调节抛光面的水平度，使用研磨抛光设备对抛光面研磨，之后多次检测，多次研磨，直至反射光和入射光重合，此时中心光路孔和抛光面相垂直，将光学参考腔翻
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117444809A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311474547.0
(22)申请日2023.11.07
(71)申请人天津津航技术物理研究所
地址3
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