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本发明公开一种基于弱耦合谐振器的微机械毛发流速传感器，平面外立体毛发粘合在中层硅微传感器的几何中心，中层微硅传感器的结构由一个质量块基座、四个相同的弱耦合谐振器组和四个相同的平面外运动抑制弹性结构组成；其中四个相同的弱耦合谐振器组对称分布在质量块基座的上、下、左、右四个方向；弱耦合谐振器组通过二级力放大杠杆的输入直梁与质量块基座相连；四个相同的平面外运动抑制弹性结构对称分布在质量块基座的左上、右上、右下、左下四个方向，平面外运动抑制弹性结构通过平面外运动抑制弹性U形梁与质量块基座相连。本发明通过
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109975577A
(43)申请公布日
2019.07.05
(21)申请号20191
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