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一种能在超高真空状态下高效放电的小型等离子体源，包括：第一磁体；第二磁体，被布置为对于第一磁体的第一磁极，其与第一磁极不同的第二磁极与之相对；第三磁体，在与第一磁体的第一磁极朝向相同的方向上，其与第一磁极不同的第二磁极与之相对，且围绕第一磁体布置；第四磁体，对于第三磁体的第二磁极，其与第二磁极不同的第一磁极与之相对，且围绕第二磁体布置；第一电极，设置在第一磁体的第一磁极以及第三磁体的第二磁极所在的一侧；第二电极，面向第一电极，设置在第二磁体的第二磁极和第四磁体的第一磁极所在的一侧；第三电极，布置
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117461109A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202280041517.8高木秀树日暮荣治松前贵司
(22)申请日2022.03
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