新型电容式传感器的设计与优化.pdfVIP

新型电容式传感器的设计与优化

摘要：首先，基于微电容式超声波换能器（ＣＭＵＴ）建模理论，依据ＣＭＵＴ的电学特性和机械特性，构建

了等效电路模型和平行板电容模型；然后，给出了ＣＭＵＴ薄膜的振动位移、固有频率、塌陷电压以及转换系

数等关键的特性参量表达式，完善了ＣＭＵＴ理论体系，确定了结构尺寸；最后，针对ＣＭＵＴ设计主要用到的

Ａｎｓｙｓ有限元仿真分析方法存在的操作复杂、运算时间长等问题，提出了一种利用Ｓｉｍｕｌｉｎｋ状态模型对

ＣＭＵＴ特性的动态仿真分析的方法。通过对ＣＭＵＴ发射接收动态系统模型的建立，实现了其性能的仿真／

与分析，为后续实际应用提供了重要的理论指导，同时该动态系统模型为ＣＭＵＴ设计提供了一种简单、高

效的方法，提高了ＣＭＵＴ结构设计与分析的效率。

关键词：微电容式超声波换能器；Ｓｉｍｕｌｉｎｋ模型；动态系统

Ｄｅｓｉｇｎａｎｄｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆｎｏｖｅｌｃａｐａｃｉｔｉｖｅｓｅｎｓｏｒ

：，