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本实用新型公开了一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，具体涉及样品台技术领域，包括样品定位台，所述样品定位台的顶端开设有定位顶端面，所述定位顶端面的一侧开设有阶梯定位槽，所述样品定位台的另一侧开设有倾斜槽，所述定位顶端面的顶端设有放置组件；所述放置组件包括设置在定位顶端面顶端的两个第一凸起板样品。本实用新型通过设置放置组件，既可以对定位顶端面上表面的测试样品进行测试，还可以对倾斜槽侧面的样品进行测试和对倾斜槽侧面的样品进行测试，可以用于装载多尺寸多样品，同时也可以满足多种SEM测试需求的E
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220399313U
(45)授权公告日2024.01.26
(21)申请号202321167663.3
(22)申请日2023.05.15
(73)专利权人天津大学
地址300072
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