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一种基于缺陷数据的区域分割方法、设备及介质.pdf

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    本申请提供了一种基于缺陷数据的区域分割方法、设备及介质，包括步骤：S1：获取缺陷数据源；S2：计算缺陷的外切圆半径；S3：分别计算缺陷对应的x轴坐标值排序后的前后差值和y轴坐标值排序后的前后差值；S4：分别计算缺陷对应的所述x轴坐标值和y轴坐标值所归属的标签，根据标签筛选x、y轴坐标值形成坐标集；S5：定义x轴方向或y轴方向所属的区域块函数，用来对每条缺陷样本进行轴方向上的类别归类；S6：对坐标区域进行合并整合，得到每个缺陷所属的分割区域标签。通过数据区域分割划分后，形成cluster间距离互不

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117454222A

    (43)申请公布日2024.01.26

    (21)申请号202311415437.7

    (22)申请日2023.10.30

    (71)申请人上海朋熙半导体有限公司

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