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本申请涉及膜片刚度测试领域,具体提供一种压力传感器膜片刚度测试系统及方法,所述系统包括:激光测距单元、膜片固定单元和压力发生单元;膜片固定单元包括底座和压环,底座用于盛放膜片,压环通过螺纹固定在底座上,以将膜片夹紧;底座包括第一内腔和第二内腔,压环包括第三内腔,第一内腔与第三内腔同轴;压力发生单元配置为:向底座内输入气压,激光测距单元被配置为:测量膜片在气压下的膜片平中心位移值。通过该测试系统,可以实现对压力传感器膜片的刚度测试,通过压力发生单元气压可调,可以确认在不同压力下膜片的刚度变化,以便
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117451525A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311773594.5
(22)申请日2023.12.22
(71)申请人国机传感科技有限公司
地址11
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