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本发明公开了一种晶圆背面金属化前的清洗装置，属于晶圆加工技术领域，本发明包括清洗箱主体，所述清洗箱主体内腔中间处固定焊接有隔板，所述隔板一侧为清洗区，另一侧为烘干区，所述清洗箱主体内部设有传送组件。本发明通过启动电机，通过皮带传动带动转轴转动，带动转盘转动，带动活动框做往复运动，当活动框带动活塞杆以及活塞向活塞筒内腔顶部移动时，活塞筒内产生负压，蓄水箱内部清洗剂通过连接管输送至活塞筒内，当活动框带动活塞杆以及活塞向活塞筒内腔底部移动时，将活塞筒内部清洗剂挤压通过输水管排出，最后由支管以及喷头将清
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117457529A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311360678.6B08B3/08(2006.01)
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