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本发明涉及一种柔性龙门式铝合金共面气浮运动台，包括底座、气浮X轴梁、Y轴气浮滑动块、气浮X轴平台、驱动反馈件、控制单元及集中拖链；Y轴气浮滑动块设于气浮X轴梁两端，Y轴气浮滑动块与底座滑动连接；气浮X轴平台与气浮X轴梁滑动连接；驱动反馈件设有两组，其中一组设于底座与气浮X轴梁之间，另外一组设于气浮X轴梁与气浮X轴平台之间，两组驱动反馈件均与控制单元连接；集中拖链一端连接在底座上，另一端连接在气浮X轴平台上。本发明的有益效果在于：采用气浮X轴梁及气浮X轴平台均为气浮结构，提高了运行的稳定性；利用集
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117444911A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311573659.1
(22)申请日2023.11.23
(71)申请人武汉中导光电设备有限公司
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