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2023年制芯机项目规划设计纲要.docx

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    制芯机项目规划设计纲要

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    制芯机项目规划设计纲要

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    TOC\h\z21796序言 3

    30632一、制芯机项目文档管理 3

    15508(一)、文档编制与审查 3

    11163(二)、文档发布与分发 4

    7061(三)、文档存档与归档 5

    28969二、工艺说明 6

    10710(一)、技术管理特点 6

    5569(二)、制芯机项目工艺技术设计方案 7

    2464(三)、设备选型方案 9

    23246三、制芯机项目绩效评估 10

    9678(一)、绩效评估指标 10

    31327(二)、绩效评估方法 11

    185

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