一种薄膜太阳能电池的双光路激光划线设备.pdfVIP

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2024-01-31 发布于四川
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一种薄膜太阳能电池的双光路激光划线设备.pdf

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本发明提供了一种薄膜太阳能电池的双光路激光划线设备，包括纳秒红外激光器、皮秒绿光激光器、隔离器、扩束镜、多个反射镜、两个聚焦镜、X轴移动模组、Y轴移动模组、Z轴移动模组、滑台以及吸附平台。其中两个反射镜和滑台固定在X轴移动模组上，一起沿着X轴方向运动，可形成沿X轴移动的飞行光路；滑台固定在Z轴移动模组输出端，两个聚焦镜安装在滑台上，和滑台一起沿着Z轴方向运动，可形成沿Z轴移动的飞行光路。通过选择不同的光源加工，一台设备即可完成P1、P2和P3三道划线工序，工件运动方向只有Y轴方向，减轻了大平台上

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117464188A

(43)申请公布日2024.01.30

(21)申请号202311814272.0B23K26/70(2014.01)

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