晶棒生长控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备.pdfVIP

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2024-01-31 发布于四川
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本申请涉及一种晶棒生长控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备，该方法包括获取长晶炉内实时图像；将实时图像输入至预先训练的生长检测模型得到实时图像中目标区域图像，以及晶棒生长检测结果；若检测结果为异常则基于目标区域图像重新进行试温拉结；生长检测模型包括依次连接的自适应对比度增强模块、主干网络、颈部网络和检测网络；自适应对比度增强模块增强实时图像得到增强图像；主干网络基于增强图像进行晶结特征提取；主干网络还包括注意力融合模块用于增强晶结特征；颈部网络对晶结特征融合得到融合晶结特征；检测网络基于融合晶

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117468085A

(43)申请公布日2024.01.30

(21)申请号202311815614.0G06V10/82(2022.01)

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