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提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置.pdfVIP

提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置.pdf

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    本发明涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备的领域，尤其涉及提升精密恒温恒湿设备湿度控制精度的蒸汽导流装置。该蒸汽导流装置安装于恒温恒湿设备的加湿补水箱的热蒸汽的出口位置，该出口位置包含基础板(2)，该基础板(2)的边沿通过安装边沿(1)安装在蒸汽口(3)，该基础板(2)伸出有高温蒸汽管道(4)，高温蒸汽管道(4)布置于空气混合的空间；将温热交换后空气在热蒸汽出口处混合，延伸至送风口处混合，使得混合后的气体更快地进入风机；将蒸汽导流装置底座固定在加湿补水箱上方，导流管伸至送风口位置；高温蒸汽管道(4)

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117469989A

    (43)申请公布日2024.01.30

    (21)申请号202311437989.8

    (22)申请日2023.11.01

    (71)申请人西安稳能微电子科

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