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本发明公开了一种分离多晶硅还原尾气吸收富液和冷凝液的系统及工艺，该系统包括：隔壁塔，包括：隔壁塔本体、进料口、隔板、公共精馏段、公共提馏段、预精馏段、预提馏段、抽出段，抽出段设置有上部侧采线、下部侧采线，下部侧采线位于上部侧采线下方，上部侧采线用于采出高纯二氯二氢硅和三氯氢硅混合液，下部侧采线用于采出高纯三氯氢硅；冷凝器，与隔壁塔连接；塔顶采出线，与冷凝器连接；再沸器，与隔壁塔连接；塔釜采出线，与隔壁塔的塔釜连接。本发明中的工艺降低了设备投资；缩短了工艺流程；减少了建设用地；降低了能量的消耗，对
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115006861A
(43)申请公布日2022.09.06
(21)申请号202210654556.7
(22)申请日2022.06.10
(71)申请人内蒙古新特硅材料有限公司
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