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一种基于连续域中束缚态机制的非线性光波导的制备方法.pdfVIP

一种基于连续域中束缚态机制的非线性光波导的制备方法.pdf

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    本发明涉及一种基于连续域中束缚态机制的非线性光波导的制备方法，包括：对非线性晶体进行预处理，并对处理后的非线性晶体进行离子注入；将经过离子注入后的非线性晶体旋涂光刻胶，并进行电子束曝光和后续加热处理，将加热处理后的非线性晶体进行显影操作，得到高分子聚合物和非线性晶体混合型光波导。本发明展示的制备方法无需直接改变非线性晶体波导层的几何形貌，因而避免了刻蚀非线性晶体的困难与挑战，以及机械加工非线性晶体制备波导结构单一的缺点,并且可制备的波导结构多样，适用于制备直线形、曲线形、环形波导、波导阵列等多种

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN115508949A

    (43)申请公布日2022.12.23

    (21)申请号202211397516.5

    (22)申请日2022.11.09

    (71)申请人山东师范大学

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