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本发明公开了一种空间波导集成三轴光学陀螺仪，属于定位导航技术领域。包括：基体、光源芯片和平面光波导，基体的表面预留出三个相互垂直的平面，每一个平面上均设置有调制器单元、平面螺旋光波导和光电探测器芯片；光源芯片和平面光波导设置于基体的另一平面；平面光波导的输出端通过空间聚合物波导与调制器单元的输入端耦合连接；调制器单元的输出端通过空间聚合物波导与平面螺旋光波导光学连接；光源芯片输出的光信号由所述平面光波导分成三束，其中，每一束光信号依次经过一个调制器单元和平面螺旋光波导后由光电探测器芯片进行接收。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117470210A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311672299.0
(22)申请日2023.12.06
(71)申请人甬江实验室
地址315000
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