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用于光学元件保持装置的适配器环和相关的光学元件保持装置.pdfVIP

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  • 2024-01-31 发布于四川
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用于光学元件保持装置的适配器环和相关的光学元件保持装置.pdf

    本发明涉及一种用于涂覆站(5)的光学元件保持装置(11)，包括具有单独开口(23)的至少一个片载体(21)，所述开口(23)在其内部面上具有至少一个肩部(25)，所述至少一个肩部被配置为在涂覆过程中保持光学元件(3)，例如透镜，所述片载体(21)呈现安装在蒸发源(9)上方的圆顶或圆顶的一部分的形状，使得光学元件(3)朝向所述蒸发源(9)取向，其中它还包括至少一个适配器环(31b)，所述适配器环包括外部部分(33)，该外部部分被配置为由片载体(21)的开口(23)的所述至少一个肩部(25)支撑。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117467960A

    (43)申请公布日2024.01.30

    (21)申请号202310946067.3C23C14/26(2006.01)

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