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2024-01-31 发布于四川
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一种加热装置、烘箱及制膜设备.pdf

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本实用新型提供了一种加热装置、烘箱及制膜设备，涉及薄膜生产线技术领域。该加热装置设置加热机构作为热量输出机构，加热机构由第一加热组件和第二加热组件组成，第一加热组件输出热量后形成可覆盖基板的第一加热区，达到对薄膜初步加热的目的。在此基础上，第二加热组件可输出热量形成可覆盖基板的相对的两个边沿区域的第二加热区，而基板的边沿区域相对于基板的中部区域，更靠近充氮循环管路，这样可有效对基板的边沿区域的温度进行补偿，缩小中部区域和边沿区域的温差，改善烘箱的箱体内的温度不均匀性，进而改善不同区域温差较大对薄

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220413498U

(45)授权公告日2024.01.30

(21)申请号202321961618.5

(22)申请日2023.07.25

(73)专利权人宁波聚嘉新材料

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