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本实用新型公开了一种单晶炉及其埚托。该埚托包括：底座和防护圈，所述底座划分为碗状部、环绕所述碗状部的凸起部和环绕所述凸起部的外围部；所述碗状部的上表面呈碗状；所述凸起部高于所述外围部且所述凸起部的内周面与所述碗状部的上表面共面；所述防护圈设置在所述外围部上，所述防护圈与所述凸起部沿所述底座的径向具有间隙，所述防护圈向上延伸而形成环形的侧墙，所述侧墙高于所述凸起部。该埚托与埚邦在二者的交界处的腐蚀得到抵制，并且该埚托有助于减少埚邦的腐蚀，有助于减弱坩埚与坩埚内部半导体液体的化学反应。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220413595U
(45)授权公告日2024.01.30
(21)申请号202321983163.7
(22)申请日2023.07.26
(73)专利权人双良硅材料（包头）有限公司
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